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usdt不用实名(www.caibao.it):A *** L 20年前就更先研制EUV光刻机:日本佳能、尼康嫌太庞大

admin2021-03-2456

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原题目:A *** L 20年前就更先研制EUV光刻机:日本佳能、尼康嫌太庞大

A *** L已经成为了全球第一大光刻机厂商,而且最顶尖的EUV光刻机更是独家垄断。

日前与媒体交流时,A *** L手艺开发副总裁Tony Yen确认了此前外界的预测,他示意EUV光刻机现在有三大客户,划分是台积电、三星和Intel。

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至于同样制造光刻机的日本佳能、尼康为何在EUV上落伍,Yen指出,我们从2000年左右开发EUV,并决议大批量生产这种光刻机。

日本人没有这么做,由于他们以为系统太庞大。现实上,我们那时也不是100%确信EUV光刻时机乐成。

固然,Yen提到,EUV光刻机的乐成另有蔡司、Cymer(已被A *** L收购)等企业介入,其中蔡司独家向A *** L出售半导体相关的曝光产物。

据官方披露的数据,去年全球光刻机总销售量为413台,其中A *** L销售258台占比62%,佳能销售122台占比30%,尼康销售33台占比8%。从光刻机类型来看,尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry,佳能主要是KrF、i-line(份额69%)。

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